微量氧分析儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，到達電極表面。傳感器的結構設計保證會有適量的氣體進入與感應電極反應產生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應電極發生氧化/還原反應，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應出氣體中的氧濃度。
 

　　微量氧分析儀的操作方法及注意事項：
 

　　用6mm，3mm不銹鋼管連接氣路及采樣預處理系統，分別檢查管路的氣密性。通電10min進出口閥全關閉時，儀器示值應小于10X10，否則說明系統氣密性存在問題，必須排除。檢查儀器的安全性能，系統絕緣電阻不小于5MΩ。然后進行校準。
 

　　1)在正常的情況下不對儀器的零點校準(只需用，無氧的氣體進行吹掃)，只對儀器的量程用標氣進行校準。
 

　　2)依次打開出口閥和進口閥，旋轉五通閥到置換氣位置，接通吹掃氣，調整壓力小于0.02MPa，調整流量為0.2SLPM迅速進入氧電池，進行吹掃(一般需要2~12h)讀數約為2*10。
 

　　3)吹掃讀數穩定后，進行量程標定，緩慢打開氣瓶減壓閥，調整壓力為0.02MPa，將五通閥切換到量程位，置，調整流量為1.0SLPM，當讀數穩定后按操作步驟進行量程標定。儀器標定完后，將五通閥切換到測量位置，慢慢打開樣氣取樣閥，將壓力調整在0.02MPa，流量調整在1.0SLPM。當儀器顯示穩定后即是所測樣氣中氧的含量。儀器使用時應注意。